Минпромторг заключил контракт с АО «НИИ НПО «ЛУЧ» — дочерним предприятием «Росатома» — на разработку автоматизированной установки контроля процесса ионного легирования полупроводниковых пластин. Сумма сделки составила 1,348 млрд рублей. Оборудование призвано заменить американские системы KLA-Tencor, которые используются для контроля ключевого процесса внедрения примесей в микрочипы. Детали контракта Опытно-конструкторская работа под шифром «Контроль-ИИ» была поручена «НИИ НПО «ЛУЧ» по итогам конкурсного отбора. Институт набрал 77,6 балла из 100 по неценовым критериям, значительно опередив двух конкурентов, чьи показатели составили 28,2 и 4 балла. Изначально на работы выделялось 1,376 млрд рублей, но победитель предложил снизить сумму на 27,5 млн рублей. Контракт предполагает создание установки для контроля ионного легирования в структурах полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм. Работы должны быть завершены к октябрю 2029 года. Замещение американского оборудования Разрабатываемая установка должна стать отечественным аналогом американских систем KLA-Tencor моделей ThermaProbe TP500 и TP630. Эти машины контролируют дозы легирования — процесс внедрения примесей в полупроводниковые пластины, который является критическим этапом при создании транзисторов и диодов. В установке будет применяться искусственный интеллект для автоматического распознавания топологического рисунка на пластинах, построения калибровочных кривых и расчета уровня имплантационной дозы. Ключевые комплектующие — оптический стол, источники лазерного излучения, фоточувствительные детекторы и механизмы загрузки — должны быть произведены в России. Росатом наращивает присутствие в микроэлектронике АО «НИИ НПО «ЛУЧ», основанный в 1946 году в Подольске, традиционно специализируется на разработке тепловыделяющих элементов для ядерных установок. Однако в последние годы институт активно включается в проекты по созданию материалов для микроэлектроники, включая оснастку из карбида кремния для производства интегральных схем. Контракт на установку контроля ионного легирования — уже второй крупный заказ Минпромторга для структур «Росатома» за две недели. В конце июня 2026 года АО «НИИграфит», также входящее в госкорпорацию, получило контракт на 257 млн рублей на разработку установки формирования керамической ленты, заменяющей словенское оборудование KEKO. Таким образом, суммарно «Росатом» получил заказы на разработку критического оборудования для микроэлектроники на сумму более 1,6 млрд рублей.